- 可对应 3-12 英寸各类材质的晶圆；
- 可对应 Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette；
- 可对应可 OHT 系统和 AGV 系统相配套；
- 可对应 MES 系统；
- 满足用户的各种应用方式（夹持、伯努利、翻转）和 14 纳米工艺需求；
- 除了通用的 2-8 port 产品外，可根据客户的需求定制各类型排列方式。
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晶圆倒片机 Wafer Sorter
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